Número de Chamada
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621.381 M533m
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Entradas Secundárias - Autor
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Beeby, Stephen
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Título Principal
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MEMS mechanical sensors / Stephen Beeby ... [et al.]
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Publicação
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Boston, MA. : Artech House, c2004.
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Descrição Física
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x, 269 p. : il. ; 26 cm
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Série
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Artech House Microelectromechanical Systems (MEMS) Series
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Notas
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Inclui bibliografia e índice
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ISBN
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1580535364 (broch.)
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Assuntos
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Microeletrônica Aparelhos e materiais eletrônicos Dispositivos eletromecânicos Detectores
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